Mbeni ayeke kode ti gaz{-phase, kode ti déposition chimique (CAV), so a hinga nga ni na iri ti kode ti pyrolyse, kode ti hungo ye wala kode ti wâ. A yeke wara na yâ ti ni ambeni ye so ayeke sara si zo ayeke na tétrachlorure ti silicium, oxygène (wala pupu) nga na hydrogène, so ayeke sara kua na ngoi so ndowa ayeke ngangu mingi.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO2+4HCl. A yeke sala kusala na pupu na hydrogène na lege ti pression, kangbingo popo ti aye, salango si ngu adë, salango si ngu adë, salango si gel ti silice ahule, zingo poussière na filtration kozoni si a tokua ni na yâ ti four ti hydrolyse so a leke ni na lege ti synthèse. Na peko ti so a tokua na yâ ti colonne ti distillation ni akozo ye so a sara na tétrachlorure ti silicium, a yeke sara si a yeke chauffé na a yeke sara si ngu ni aga ngu, na pekoni a yeke tokua ni na four ti hydrolyse synthétique so ayeke na pupu so ayeke hule nga so a filtré ni tongana zo so ayeke mû ni. A yeke sara kua na tétrachlorure ti silicium na ngoi so ndowa ayeke ngangu mingi (temps ti wâ 1000{5}}1800 ) na pekoni a yeke sara gaz{-phase na mbeni wungo ti hydrogène nga na oxygène (wala pupu) na 1800 degré . Na ngoi ni so, akete kete ye so ayeke na yâ ti gaz-phase so a sara ni ayeke pendere mingi nga a-aérosol so ayeke na yâ ti ni ayeke na agaz, so ayeke ngangu ti gbu ni.
Tongaso, a bungbi ala kozoni na yâ ti akota ye na yâ ti mbeni agrégateur, na pekoni a bungbi ni na lege ti mbeni separateur ti kota pupu, na a tokua ni na mbeni four so ayeke na décididiation. Gaz-phase ti silice na azote so ayeke na azote so ayeke na pupu juska ngere ti PH ni aga 4 ti si na 6, so ayeke ye so a leke ni awe .